サブナノメートルで形状修正を達成するイオンビーム形状修正装置
IBF-5
IBF5は、新開発のイオンビームソースを搭載した小径光学素子をターゲットにした最新のIBFシステムです。
＜特徴＞
- パラメータ変更でビーム径をφ40～150µmの範囲で調整可能
- 200mm×260mmの駆動距離を有し、複数の光学素子のマルチプロセッシングが可能
- オプションでロードロックチャンバも準備
IBF-100
ワーク修正加工範囲直径5～70mmまで対応！
＜特徴＞
- モデル IBF-100シリーズは、小径光学部品のナノメータ形状修正システムです。
- 小径光学部品を最短の時間で、PV値λ/5からλ/20、またはそれ以上に仕上げることが可能です。
- 63°までの傾斜角の加工が可能です。
IBF-200
ワーク修正加工範囲直径5～200mmまで対応！
＜特徴＞
- モデル IBF-200シリーズは、小径から中程度の光学部品のナノメータ形状修正システムです。
- 63°までの傾斜角の加工が可能です。
上記製品以外のラインナップ ※詳細はお問い合わせください。
加工事例
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