IBS　非接触粗さ測定機・超精密3次元測定機

ARINNA

波長スキャニング干渉計・振動補正機構搭載
小型非接触表面粗さ測定機

＜特徴＞

• 小型の非接触式表面粗さ測定機。
• 本体サイズは幅約120mm、奥行き約100mm、高さ約400mmとコンパクト設計。
• 形状輪郭、3D表面形状の測定可能。
• 波長スキャニングにより、位相差を創生。
• 短時間でデータ取得が可能。
• 加工装置に取り付けての機上測定可能。
• 対物レンズは2x、5x、10x、20x、50x

ISARA400

次世代型超精密３次元測定機
400mmx400mmx100mmまで対応

＜特徴＞

• 形状測定機(プロファイラー）では測定できない測定面角度(スロープ)角度±90まで可能。
• 測定レンジが400mm（X軸）×400mm（Y軸）×100mm（Z軸）と大口径光学部品、超精密部品の測定に最適。
• ナノメータの分解能で複雑な形状や自由曲面光学部品も3次元測定、スキャニング測定が可能。
• 光学基準面を機械的基準面として採用。

ISARA100

次世代型超精密3次元測定機
100mmx100mmx50mmまで対応

＜特徴＞

• 形状測定機(プロファイラー）では測定できない測定面角度(スロープ)角度±90まで可能。
• 測定レンジが105mm（X軸）×105mm（Y軸）×50mm（Z軸）までの光学部品及び小型超精密部品の測定に最適。
• ナノメータの分解能で複雑な形状や自由曲面光学部品も3次元測定が可能。
• 光学基準面を機械的基準面として採用。

ISARA用超精密プローブ

Triskelion タッチプローブ
直径0.2mm、0.5mm、1.0mmの3種類のプローブチップが使用可能。

＜測定用プローブコンセプト＞

• 3点式バネの変形を高精度静電容量センサーにより、変位として検出。
• X方向、Y方向およびZ方向の変位を、1次元、2次元、および3次元の合成変位として検出が可能。

＜立体形状の測定＞

• 従来の3次元測定機と同様に、被測定物を接触式プローブで点として測定が可能。
• 点、線、面により被測定物の座標系を設定可能｡
• 被測定物のアライメント後、自由曲面の点群測定が自動測定可能。
• アナログ測定プローブのために、プローブの接触圧力を一定に保持しながら自動スキャニングが可能。
• 未知の測定物形状を、プローブの接触圧力を一定に保ちながら測定可能。